過程氧分析用氧分析儀。一般選用量程在0－100％O2（不包括98％O2以上范圍），通常可選用磁式及氧化鋯式。但是，由于磁式又分為兩種，一種是磁壓式，其工作時必須用純氧作為參比氣，故增加了維護(hù)上的麻煩。另一種是磁力機械式，雖然可省去參比氣，但是價位又比磁壓式高。不少客戶客戶選用價格比磁式便宜的氧化鋯式氧分析儀，使用方便，不需參比氣，不需維護(hù)，獲得很好的效果。