氬氣或氫氣中微量氧分析用氧分析儀。一般選用量程在0.01ppm－1000ppmO2范圍居多。此時，雖然氧化鋯式及庫侖式氧分析儀也能提供這個較寬的檢測范圍。但是，由于氧化鋯式氧分析儀在對＜10ppmO2測定時，會受到氣體中含有的微量還原性氣體成份的干擾，數(shù)據(jù)偏差過大，故不宜使用。而庫侖式氧分析儀和燃料池式氧分析儀均適合測定微量氧含量。不過根據(jù)具體情況選用時另有所側(cè)重。如，燃料池式氧分析儀價格便宜，使用方便，無需維護是其獨特優(yōu)點，故而在國外普遍選用。但是，如果氣體中含有微量酸性氣體成份，如CO2，H2S，HCl，HCN等，則燃料池傳感器易中毒失效。而庫侖式或氧分析儀（由F公司產(chǎn)）則對酸性氣體成份有抗干擾性能，此時雖然價位偏高于燃料池式，則也是必選的產(chǎn)品。
　　另外，對于某些更高標(biāo)準(zhǔn)的要求，如需測定氣體中1ppm－1ppbO2時，則庫侖式氧分析儀更是有獨到之處，而其他儀器根本不能滿足使用要求�！　　�
　　對于樣氣中含有微量酸性氣體的情況，只有特殊型式的庫侖式氧分析儀才能排除干擾，防止傳感器中毒，給出正確分析數(shù)據(jù)。